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一种驱使碳纳米管成链的新型平行电场式光电芯片
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   CN201510280836.6
   东北大学
   发明授权
   赵勇;胡晟

项目介绍

一种驱使碳纳米管成链的新型平行电场式光电芯片

专利(申请号) CN201510280836.6 申请人 东北大学
IPC分类号
B81B7/02(2006.01)I
专利类型 发明授权
公开号 CN104891424A 保护年限 20年
代理机构 - 代理人 -
公开日 1441728000000 发明设计人 赵勇;胡晟

摘要

本发明提出一种驱使碳纳米管成链的新型平行电场式光电芯片。平行电场式光电芯片产生的电场方向与衬底表面平行,该衬底表面的光敏薄膜为氢化非晶硅材质。当可编程光斑垂直照射到下方两块空间分离的光电薄膜后,形成虚拟电极产生局部非均匀电场。悬浮于芯片微槽中的碳纳米管受光诱导介电泳力运动。人工调节光斑大小、形状和位置,可实现碳纳米管受光诱导介电泳力作用而相互吸引成链。平行电场式光电芯片控制碳纳米管成链对微型传感器制作和电子器件微加工都具有潜在的实用价值和意义。

主权项

一种驱使碳纳米管成链的新型平行电场式光电芯片,由氧化铟锡玻璃衬底、氢化非晶硅薄膜、微槽及一对电极组成,其特征在于:氢化非晶硅薄膜镀在衬底上方;在氢化非晶硅的衬底中间位置制作微槽;在氢化非晶硅的左右两端各引出一个电极。

状态信息

法律状态 费用信息 实施许可 质押保全 专利转移

法律状态 公告日 详情
费用种类 费用金额(单位:元) 缴费人信息 处理状态 缴费日
名称 许可种类 让与人 受让人 当前受让 备案日 变更日 解除日
名称 质押保全类型 出质人 质权人 当前质权人 生效日 变更日 解除日
名称 信息转移类型 变更前权利人 变更后权利人 当前权利人 变更前地址 变更后地址 当前地址 生效日