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基于铋系存储材料的铁电动态随机存储器及其制备方法
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   CN201010202569.8
   清华大学
   发明授权
   谢丹;罗亚烽;冯婷婷;韩学光;任天令;刘理天

项目介绍

基于铋系存储材料的铁电动态随机存储器及其制备方法

专利(申请号) CN201010202569.8 申请人 清华大学
IPC分类号
H01L27/115(2006.01)I; H01L21/02(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;G11C11/22(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I
专利类型 发明授权
公开号 CN101872768A 保护年限 20年
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人 廖元秋
公开日 1288108800000 发明设计人 谢丹;罗亚烽;冯婷婷;韩学光;任天令;刘理天

摘要

本发明涉及基于铋系存储材料的铁电动态随机存储器及其制备方法,属于微电子新材料与器件技术领域,该器件的区别特征为隔离层介质为:ZrO2或TiO2;铁电薄膜层为BXT或BXFY中的任意一种:其中,X为掺杂的稀土元素,Y为掺杂的过渡金属元素。该方法包括:对硅衬底进行清洗及氧化:光刻形成源漏区和衬底接触区后生长氧化层:再光刻形成栅区后生长隔离层介质薄膜和铁电薄膜;在铁电薄膜上溅射电极金属层;再光刻和刻蚀形成栅电极、接触孔;源极、漏极以及衬底接触金属层及电极金属层;最后合金化处理。本发明可获得大面积、均匀致密的、性能良好的存储介质薄膜和隔离层材料,用其制备的FEDRAM器件具有更小的漏电,更高的保持特性。

主权项

一种基于铋系存储材料的铁电动态随机存储器,包括硅衬底、源区、漏区、隔离层介质膜、铁电薄膜层、栅电极、源极、漏极,以及用于器件测量的衬底接触区和衬底接触电极;其中,在硅衬底中形成源区、漏区和衬底接触区,在硅衬底的上面形成隔离层介质膜,在隔离层介质膜上面形成铁电薄膜层,在铁电薄膜层上面形成栅电极;源极和漏极在栅电极的两侧;其特征在于,所述的隔离层介质膜为:ZrO2或TiO2;所述的铁电薄膜层为BXT或BXFY;其中,BXT中的X为稀土元素La,Nd,Sm,Pr,Gd中的任意一种,BXT中各组份的摩尔比例为:Bi∶X∶Ti∶O=(4‑x)∶x∶3∶12,x取值在0.1<x<1.0的范围内;所述BXT中的Bi,相对于组成式:Bi4‑xXxTi3O12要过量添加,该Bi元素的过剩含量,占Bi、X和Ti元素总量的摩尔百分数为5%≤Bi≤20%;所述BXFY中的X为掺杂稀土元素La,Nd,Sm,Pr,Gd中的任意一种,Y为掺杂过渡金属元素Mn,Nb,Co,Ni中的任意一种;BXFY中各组份的摩尔比例为:(Bi+X)∶(Fe+Y)∶O=1∶1∶3,Bi∶X=(1‑x)∶x,Fe∶Y=(1‑y)∶y,其中,0.01<x<0.2,0.01<y<0.2。

状态信息

法律状态 费用信息 实施许可 质押保全 专利转移

法律状态 公告日 详情
专利权的终止 2019.05.31 未缴年费专利权终止
IPC(主分类):H01L 27/115
申请日:20100611
授权公告日:20120111
终止日期:20180611
公开 2010.10.27 公开
授权 2012.01.11 授权
实质审查的生效 2010.12.08 实质审查的生效
号牌文件类型代码:1604
号牌文件序号:101021883910
IPC(主分类):H01L 27/115
专利申请号:2010102025698
申请日:20100611
费用种类 费用金额(单位:元) 缴费人信息 处理状态 缴费日
印花税 5
清华大学
暂未处理
2011.11.11
发明专利登记印刷费 250
清华大学
暂未处理
2011.11.11
发明专利第2年年费 270
清华大学
暂未处理
2011.11.11
发明专利申请审查费 750
清华大学
暂未处理
2010.07.16
发明专利文印费 50
清华大学
暂未处理
2010.07.16
发明专利申请费 270
清华大学
暂未处理
2010.07.16
发明专利第3年年费 270
清华大学
暂未处理
2012.05.25
发明专利第8年年费 2000
清华大学
暂未处理
2017.06.16
发明专利年费滞纳金 400
清华大学
暂未处理
2016.10.21
发明专利第7年年费 600
清华大学
暂未处理
2016.10.21
发明专利第6年年费 1200
清华大学
暂未处理
2015.05.29
发明专利第5年年费 1200
清华大学
暂未处理
2014.06.06
发明专利第4年年费 360
清华大学
暂未处理
2013.11.08
发明专利年费滞纳金 240
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
暂未处理
2013.11.08
名称 许可种类 让与人 受让人 当前受让 备案日 变更日 解除日
名称 质押保全类型 出质人 质权人 当前质权人 生效日 变更日 解除日
名称 信息转移类型 变更前权利人 变更后权利人 当前权利人 变更前地址 变更后地址 当前地址 生效日